一、產品概述

二、核心測量原理（分流式 MEMS 熱傳感）

1. 主通道內置層流分流元件，產生微壓差，固定比例氣體分流進入傳感副通道；

2. 副通道蝕刻硅膜片集成 1 路加熱電阻、上下游 2 支高精度溫度傳感器；

3. 恒定功率加熱氣流，上下游溫差與氣體質量流量呈線性對應，不受溫度、壓力波動干擾；

4. 芯片內置數字化溫度、壓力補償，機身最多存儲 4 條獨立氣體校準曲線，切換介質無需返廠標定。

三、核心產品優勢

1. 超高精度與穩定性

   滿量程精度 ±0.3% FS，測量值精度 ±0.8% RD，重復性 ±0.1% FS；1 分鐘預熱后長期無零點漂移，無需頻繁校準。

2. 超寬量程覆蓋

   標準量程比 50:1，可選 100:1；氮氣基準 0.01~160LN/min，氫氣 / 氦氣最大 1000LN/min，微量、中大流量一臺兼容。

3. 極速響應閉環控制

   內置寶德專用比例閥 + 集成 PI 控制器，95% 穩定響應時間＜300ms，流量調節無超調、波動極小。

4. 多氣體免反復標定

   機身存儲 4 組氣體參數，氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、甲烷、丙烷、乙炔等介質一鍵切換。

5. 靈活通訊，便捷組網

   雙版本可選：模擬量版（4-20mA/0-5V/0-10V）、總線版（büS/CANopen）；配套 ME43 網關轉 Profinet、Modbus TCP、EtherNet/IP，多設備集中采集控制。

6. 耐用適配多工況

   316L 不銹鋼流體基座，耐中性工藝氣體；介質溫度 - 10~70℃（氧氣介質上限 60℃），最高工作壓力 25bar；支持水平、垂直任意安裝。

7. 易維護替換

   配置記憶卡，整機更換直接導入參數，無需重新調試程序；模塊化閥組、傳感芯片可單獨檢修。

8. 2. 精度控制性能

1. 測量精度：±0.3% FS、±0.8% 讀數

2. 重復性：±0.1% FS

3. 響應時間 t95%：＜300ms

4. 控制閥體：常閉直動比例閥，閥孔 0.05~8mm 可選

5. 內置一體化 PI 閉環調節，無外置控制器

10. 3. 電氣與通訊

1. 供電：24V DC ±10%

2. 功耗：模擬型＜1W，總線型＜2W

3. 模擬信號：4~20mA、0~5V、0~10V（輸入輸出雙向）

4. 數字總線：büS / CANopen 雙協議一鍵切換

5. 擴展組網：搭配 ME43 網關，支持 Profinet、Modbus TCP、EtherNet/IP；單網關最多掛載 32 臺 8742

6. 接口：M12 5 針 A 編碼航空插頭

12. 4. 機械安裝

1. 流體基座：316L 不銹鋼

2. 標準接口：G1/4、NPT1/4；可選法蘭、卡箍、真空接頭

3. 安裝方式：水平 / 垂直無限制

4. 環境溫度：-10℃～+50℃，濕度＜95% 無凝露

14. 5. 認證選配

1. ATEX II 3G/D 防爆認證

2. USP Class VI、FDA 食品制藥衛生認證

3. CE、EU 合規認證

16. 五、典型應用行業與工況

1. 新能源氫能：燃料電池電堆測試、氫燃料混合配比、制氫設備氫氣流量控制

2. 半導體鍍膜：PVD/CVD 工藝氬氣、氧氣、氮氣微量精準供氣

3. 實驗室設備：氣相色譜、氣體配比儀、催化反應測試臺

4. 生物制藥發酵：發酵罐氧氣、二氧化碳、空氣精準曝氣控制，GMP 潔凈工況

5. 冶金 / 熱處理：退火、滲碳爐氮氣、丙烷、氬氣氣氛配比

6. 玻璃 / 光伏：鍍膜、燒結工藝保護氣穩定供給

7. 檢測測試臺：氣體流量標定設備、氣密性測試、燃燒試驗臺

18. 六、選型與使用注意事項

1. 介質必須干燥潔凈，含油、粉塵氣體需前置精密過濾器，避免堵塞分流傳感通道；

2. 氧氣工況介質溫度不可超過 60℃，管路禁止油脂污染；

3. 高壓力、大流量氫氣 / 氦氣工況，需提前確認閥孔規格與耐壓等級；

4. 多臺組網優先選用 CANopen 總線版本，搭配 ME43 網關簡化布線；

5. 更換使用氣體時，直接調用機身存儲曲線，無需返廠重新標定；

6. 安裝前后建議吹掃管路，防止雜質進入閥體與傳感芯片影響精度。

20. 七、配套配件

1. ME43 總線網關（CANopen 轉工業以太網）

2. 配置記憶卡（參數備份、設備快速替換）

3. Burkert Communicator 調試軟件（參數修改、曲線校準、故障診斷）

4. 精密氣體過濾器、G1/4 轉接頭、真空卡盤接頭